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中國臺(tái)灣漢鐘iPM600螺桿泵維修IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列 型號(hào)有iPM100,iPM600 用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant 特點(diǎn)：綠色制造、新系列干式真空泵 體積小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵
卡西雅瑪MU300X干式泵維修Kashiyama日本卡西雅瑪螺桿泵維修主要特性及優(yōu)點(diǎn)： 1、無油真空泵 由于真空腔內(nèi)沒有油潤滑，因此粉塵不會(huì)存留在泵腔內(nèi)，而是隨著氣體從排氣口排出泵外。 不需處理廢油，環(huán)保。 2、無油壓縮真空泵 由于氣體在泵內(nèi)有壓縮，因此消耗功率低。 3、泵腔內(nèi)沒有任何的內(nèi)部閥門，排除了因內(nèi)部閥門而產(chǎn)生的故障的可能性，因此耐粉塵和焦油能力強(qiáng)。 4、泵腔外殼可方便地拆卸，便于清洗螺桿
iH600愛德華干式泵維修 iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59040946 技術(shù)數(shù)據(jù) 峰值速度 1800 m3h-1 1060 cfm
PMF612中國臺(tái)灣漢鐘螺桿泵維修產(chǎn)品廣泛用于：電光源、真空鍍膜、機(jī)械、光盤、冶金、石油、化工、木工、印刷、食品、電子、電力、陶瓷、引水、印染、制糖、制冷設(shè)備、環(huán)保、工藝吸塑、科研及汽車維修、包裝、脫氣、真空和正壓在氣力輸送工藝中的應(yīng)用、干燥、夾持/輸送、蒸餾、抽空、 成型/壓制/層壓 、清除、鍍膜、曝氣 等行業(yè)和工藝。
卡西雅瑪MU180X干泵維修鴻鑫真空 MU180X:抽速3000L/min，極限壓力1.5pa
中國臺(tái)灣漢鐘PS160系列螺桿泵維修PS系列螺桿真空泵 定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點(diǎn)： 1、結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，成本較低，易維修 2、高壓段功耗相對低，適用于高負(fù)載應(yīng)用場合 3、排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積 適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程 PS系列螺桿真空泵型號(hào)：PS80、PS160、PS180、PS902、PS1302、PS1802 PD系列螺桿真空泵 高壓段抽速快 能耗可
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